第313章 专注模式

  车子驶出园区大门的时候，肖宿靠在座椅上，脑子里还在转刚才在物镜装调实验室看到的那一幕。

  无论是定量分析、光学设计软体，还是有限元网格收敛，虽然表面上看每一条都是具体的工程困难，但把它们放在一起，肖宿看到的却是一个更底层的共同瓶颈。

  光刻物镜的波前优化、光源的相干性均匀度、工件台的换向瞬態，表面上是三个互不相干的子系统问题，但它们在数学上全卡在了同一个地方，那就是高维多变量耦合系统的全局优化。

  传统光学设计的工具箱里，没有专门处理这种耦合的工具，所以每个子系统只能在自己的局部空间里反覆试凑。

  局部试凑碰到耦合问题，就像一个人在一个房间里调家具的位置，但家具的另一头连在隔壁房间的墙上，他怎么调都对不齐。

  即便是他刚才给罗华写的那个谱域对消方案，也只能解决单个子系统的优化效率问题。

  它可以帮罗华把光瞳函数修正的计算时间从几个月压缩到几天，可以把波像差的校准精度提上去，但它改变不了一个事实，那就是这套光刻系统的整体架构，从一开始就不是为了全局协同优化而设计的。

  光源、物镜、工件台是三个独立设计的子系统，通过接口拼在一起，接口上的耦合误差只能靠反覆联调去磨。

  磨得好是经验，磨不好是常態。

  这就是为什么罗华他们调了快一年，整体波像差还是压不到目標线以下。

  不是他们不够努力，也不是数学工具不够好，是这套架构本身的协同天花板就在那儿。

  肖宿把目光从车窗外收回来，拿出手机，在备忘录上打了几个字。

  光源物镜工件台协同优化、全局耦合函数、euv光源替代路径。

  接下来的两天，肖宿又开启了专注模式，连实验室也不去了，几乎把所有的时间都花在了书房里。

  桌上摊开的材料从最开始那叠超材料文献，逐渐变成了光刻系统各个子系统的技术报告。