第408章 风起华盛顿

  第408章 风起华盛顿

  “不过它对我们而言，也不是完全没有价值的。

  各位，我下面说的，大家剩下学习的时间里一定要认真研究，重点关注。”

  陈磊说：

  “nil光刻机路线不一定有未来，但它所蕴含的技术未必就没价值。

  我们完全可以把这项技术中有价值的给拆出来，用在我们的光刻机路线上。”

  陈磊的话，让在座的其他专家一下就打起了精神。

  “这几天我一直在复盘佳能那台fpa-1200nz2c的每一个细节。

  它的核心那个纳米压印的‘模头’，以及配套的uv固化系统，对我们来说是毒苹果，因为它和我们的duv体系不兼容，而且捆绑了材料陷阱，我们后续如果林总给不出解决办法，那么我认为我们必须坚决地把它剥离掉。”

  他拿起笔，在笔记本上nil结构图的压印核心部分，画了一个大大的红叉。

  “但是，”他话锋一转，用笔圈出了结构图的另外三个部分，“这台机器的骨骼、神经和循环系统，对我们来说，有着非凡价值。”

  王工饶有兴致地问：“陈博士，具体说说？什么是它的骨骼、神经和循环？”

  陈磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。”他指向图纸的底座部分。“nil是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想象的还要苛刻。

  佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。

  我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。